纳博会分析测试应用研讨会
时间：2018年10月25日
地点：苏州国际博览中心A109
半导体和新材料方面的检测处于检测分析行业金字塔的最顶端。随着国内半导体与材料技术和科学的发展，对杂质和缺陷的分析检测方法在准确性和精度方面的要求越来越高。检测的内容也发生了变化，从材料缺陷宏观观察和电学性质的宏观测量转移到对表面、界面及薄膜的组份、结构和特征参数的细微研究。从对杂质和缺陷宏观效果评价发展到对他们电子结构及相互作用的探索。越来越多的新仪器、新技术、新方法被应用到新材料与半导体分析检测之中。
针对国内半导体与新材料分析检测领域的现状与需求，胜科纳米（苏州）有限公司联合中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所测试分析平台，江苏省纳米技术产业创新中心，在第九届中国国际纳米技术产业博览会同期召开“首届纳博会分析测试应用研讨会”，研讨会以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础，依托科研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解，为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而未决的问题，进行技术和案例的分享与研讨。
| •已报名演讲企业: | Thermo Fisher Bruker 日立 Zeiss 徕卡 牛津仪器 Tescan EDAX |
| •承办单位： |
胜科纳米(苏州)有限公司
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所测试分析平台 江苏省纳米技术产业创新中心 中国半导体行业协会MEMS分会 |
| •参展联系人： | 万成东 |
| •联系方式： | 13584824068 |
| •邮箱地址： | wancd@sipac.gov.cn |
- -物理分析技术、表面/化学分析技术在材料表征、失效分析和质量保证中的应用
-先进封装和复杂芯片的故障分析方案
-TEM、SEM &Nanoprobeing等高端试片制备技术发展及应用
-集成电路及元器件失效分析和材料分析表征
已邀请嘉宾
演讲人：李国梁
演讲议题：在SEM中实现sub-5 nm EDS和1 nm分辨率的EBSD分析
演讲主题：MEETING_SPEECH_TOPIC_CONTENT
国家/地区：中国
机构：布鲁克应用科学家
职务：科学家
简介：李国梁于2013年获得田纳西大学材料学博士学位，研究课题为运用分析电子显微学表征半导体外延薄膜的生长质量。随后在田纳西大学和圣母大学从事博士后工作，研究课题为运用STEM/EELS分析贵金属纳米颗粒的光学特性。2016年回国在天津理工大学材料系任职副教授。至今已发表论文16篇，其中代表作有Chem. Rev.和Nano Lett.等。2017年底加入布鲁克，主要负责EDS和EBSD等产品的推广和技术支持。
演讲人：焦汇胜
演讲议题：TESCAN纳米表征及分析技术
演讲主题：MEETING_SPEECH_TOPIC_CONTENT
国家/地区：英国
机构：TESCAN
职务：技术总监
简介：上海交通大学客座研究员，TESCAN中国技术总监，主要从事材料微观结构的表征技术和表征方法的应用研究与技术推广，尤其是扫描电镜、FIB、能谱和EBSD技术对材料微观结构的表征方法。
演讲人：夏为民
演讲议题：高能K线的EDS检测，高空间分辨率EBSD对于半导体金属材料的应用
演讲主题：MEETING_SPEECH_TOPIC_CONTENT
国家/地区：中国
机构：EDAX Inc
职务：高级应用顾问
简介：夏为民，现任阿美特克集团 EDAX 公司的应用专家。曾任教于清华大学，后服务于 Zeiss 公司。1984年开始从事电子显微分析。2001年进入 EDAX 公司。目前负责 EDAXEDS、WDS 和 EDXRF 产品售前与售后的技术支持，以及相应产品开发。
演讲人：叶上远
演讲议题：同时集合了软和硬X射线的商业化光电子能谱在表面分析中的突破和应用
演讲主题：MEETING_SPEECH_TOPIC_CONTENT
国家/地区：中国
机构：高德英特北京科技有限公司
职务：高德英特中国区执行总监
简介：叶上远,毕业于南非开普敦大学,电动与电子工程学系。有超过15年在表面分析相关领域的经验, 当中包括在ULVAC-PHI日本总公司工作，在那里曾经参与了ULVAC-PHI表面分析仪器的详细仪器设计与开发，表面分析应用的技巧训练，和对系统的售后服务包括仪器安装、故障诊断和优化以达到分析应用上和用户使用的最大需求。此外，Wensly也负责对包括半导体，硬盘媒体，电子封装业，大学和研发研究机构客户和用户提供现场操作和高级的应用训练与支持。Wensly曾在亚洲各个地区如中国大陆、台湾、新加坡、泰国、菲律宾和马来西亚等等…进行过多次的应用研讨会及包括对AES、XPS和Tof-SIMS基本原理与高阶应用相关的用户培训，并也曾提供给各种工业用户在样品分析的支援和培训。目前，Wensly为 高德公司在中国区的销售和售后部总执行总监，主要专业包括在X射线光电子能谱仪（XPS），俄歇电子能谱（AES）和飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）相关的表面分析技术。
演讲人：徐宁安
演讲议题：牛津仪器高空间分辨率无窗EDS及超高速CMOS EBSD在半导体材料中应用进展
国家/地区：中国
机构：牛津仪器
职务：应用科学家
简介：徐宁安，牛津仪器应用科学家。2006年硕士毕业于北京科技大学，后就职于江苏省钢铁研究院，舍弗勒投资中国有限公司，主要从事利用显微分析手段进行产品开发、失效分析等工作。2014年加入牛津仪器，主要负责能谱、EBSD、OP的推广及技术支持。
演讲人：苏旭军
演讲议题：透射电子显微术在氮化镓材料及器件表征中的应用
国家/地区：中国
机构：中国科学院苏州纳米所测试分析平台
职务：助理研究员
简介：苏旭军于2013年获得中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所材料物理化学博士学位，研究课题为氮化镓单晶衬底的制备与物性研究。随后在中国科学院苏州纳米所从事博士后工作，研究课题为运用TEM研究HVPE-AlN中缺陷。2017年6月入职中国科学院苏州纳米所测试分析平台，主要负责TEM的支撑服务和用户的培训工作.目前发表包括APL、JAP、Scientific Reports、JCG等SCI文章13篇。
演讲人：钟海舰
演讲议题：SPM技术在宽禁带半导体材料和器件中的应用研究
国家/地区：中国
机构：中国科学院苏州纳米所测试分析平台
职务：高级工程师
简介：钟海舰于2012年获得中科院苏州所微电子学与固体电子学博士学位。自2004年至今一直从事与扫描探针显微镜相关的应用研究、技术开发和设备研制等工作，精研各种局域电学、磁学及光电耦合等高级应用测量模式及实验方法。作为项目负责人主持了国家自然基金面上项目和科技部重点研发项目子任务。参与了扫描近场光电多功能探针系统、超高真空深紫外近场光电探针系统等多项与扫描探针显微镜相关的实验装备的自主研发，并应用自主研发系统对石墨烯与宽禁带半导体构成的异质界面局域电学和光电性质开展了深入的研究，相关结果已经发表在PRM、APL、JAP等杂志。
演讲人：林坤興
演讲议题：最高解析度及大面積解析, 樣品製備和表徵的設備應用在 10 nm 元件上
国家/地区：中国台湾
机构：賽默飛世公司
职务：高级应用经理
简介：林坤興于2000年進入半導體設備領域，在應用材料公司任職期間專研於缺陷 檢測及分析，于2004加入賽默飛世公司負責芯片級SEM 和FIB雙束系統，熟悉半導體製程缺陷分析及監控流程，致力於協助客戶製程開發及良率提升，現任應用部經理負責產品的推廣，專案開發及技術支持。
演讲人：周海鑫
演讲议题：日立SEM和FIB在半导体和新材料领域的最新应用和进展
国家/地区：中国
机构：天美科技有限公司
职务：产品经理
简介：周海鑫博士毕业于北京化工大学，主修高分子材料和化学专业，曾经在德国马克思普朗克高分子所电镜中心交流工作，对扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束系统等的原理、操作和应用非常熟悉。周博士2013年加入天美（中国）科学仪器有限公司，主要负责日立扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束系统等表面科学产品的技术支持和产品推广。
演讲人：郑树楠
演讲议题：共聚焦拉曼光谱技术、共聚焦荧光显微镜在纳米材料、器件测试方面的应用
国家/地区：中国
机构：中科院苏州纳米所测试分析平台
职务：助理研究员
简介：郑树楠于2009年获得西安交通大学硕士学位，同年入职于中科院苏州纳米所测试分析平台，负责拉曼光谱仪，荧光显微镜，红外光谱仪测试设备，从事方向为利用拉曼光谱计算GaN材料中载流子浓度分布以及研究GaN材料中的应力、缺陷。至今已制订了一项国家方法标准，参与发表论文6篇。
演讲人：张兮
演讲议题：先进封装技术与常见失效分析
国家/地区：新加坡
机构：胜科纳米（苏州）有限公司
职务：研发部技术总监/公司战略官
简介：张兮博士于1992年上海交通大学材料科学获得本科、硕士学位，1997年新加坡南洋理工大学博士，2008年英国布拉福德大学工商管理硕士（MDIS）。1997年至2018年期间任职新加坡库力索法公司和新加坡贺利氏公司,从事半导体封装键合材料（键合丝，焊膏，导电胶等等）的研发，工程管理，产品管理和销售管理等领域，先后担任研发部总监，产品经理，销售总监，以及工厂总经理等职务。
张兮博士于2018年受邀加入胜科纳米（新加坡），以其独特的技术和商务双背景，开阔的视野，带领参与公司封装技术相关的各类项目。
演讲人：李正汉
演讲议题：先进集成电路制程对于看不见的缺陷的故障分析策略
国家/地区：新加坡
机构：胜科纳米（苏州）有限公司
职务：研发部技术总监
简介：李正汉博士于1994年和1996年於新竹清华大学获得材料科学学士、硕士学位，2011年于新竹交通大学光电所获博士学位。1996年到2017年任职于台积电，在台积电21年来，他先后参与部门包括产品工程、研发工程与品保故障分析工程，参与先进制程研发，主导电性测试EFA与物性故障分析PFA，确保先进产品可靠度与顺利量产，同时负责规划先进制程分析蓝图，是半导体及微电子领域失效分析专家。为台积电建立高端分析实验室与电镜实验室，具有丰富的实验室管理经验，2012年兼任新竹交通大学助理教授。在国际顶级会议与杂志上著有学术论文15余篇，专利5项，并且担任IPFA与ISTFA国际故障分析会议审稿委员。
李正汉博士于2018年受邀加入胜科纳米（新加坡），以其在半导体晶片制造及失效分析领域内丰富的经验，提升公司整体芯片级失效分析能力。
演讲人：傅超
演讲议题：材料分析在产品质量与可靠性上的保证
国家/地区：新加坡
机构：胜科纳米（苏州）有限公司
职务：市场总监
简介：傅先生拥有12年分析测试、技术推广以及市场分析和开创的丰富经验。对半导体器件，光电系统的失效分析和材料表征有极为深入的研究。屡次被多个科研/学术机构邀请进行学术和技术讲座，并受到一致好评。他在安捷伦/安华高（新加坡）有限公司担任过高级工程师对微电子和LED生产制程有深入的了解。自2007年之今担任胜科纳米公司市场营销总监，为公司建立了一支懂技术和市场行销团队，赢得了来自世界500强高科技企业。他对Au / Cu引线键合，WLP，2.5D和3D封装的封装FA具有丰富的经验。
演讲人：焦龙庵
演讲议题：三维X射线显微镜在电子半导体领域的应用
国家/地区：中国 上海
机构：卡尔蔡司（上海）管理有限公司
职务：应用专家
简介：硕士，材料工程专业，2015年毕业于太原理工大学。2013到2015年在中国计量科学研究院纳米新材料研究所联合培养，参与纳米X射线显微镜相关课题。2017年4月加入蔡司，就职于上海蔡司亚太区显微镜客户中心，专职负责X射线显微镜的设备演示及技术支持工作。不到两年的时间为国内外各大高校，研究所以及企业提供了2000小时以上的样品扫描工作。对X射线显微镜在电子半导体样品的失效分析具有丰富经验。
| 日期: 10月25日 | 地点：A109 | |
|---|---|---|
| 时间 | 演讲人 | 职位/机构及演讲主题 |
| Session 1 Chair: 傅超 胜科纳米 市场总监 |
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| 8:30-9:00 | 傅超 | 胜科纳米 市场总监 材料分析在产品质量与可靠性上的保证 |
| 9:00-9:30 | 林坤興 | Themo Fisher 高级应用经理 高產能,最高解析度及大面積解析,樣品製備和表徵的設備應用在10 nm 元件上 |
| 9:30-10:00 | 徐宁安 | 牛津仪器 应用科学家 牛津仪器高空间分辨率无窗EDS及超高速CMOS EBSD在半导体材料中应用进展 |
| 10:00-10:30 | 茶歇 | |
| 10:30-11:00 | 苏旭军 | 分析测试平台 助理研究员 透射电子显微术在氮化镓材料及器件表征中的应用 |
| 11:00-11:30 | 周海鑫 | 天美科技有限公司 产品经理 日立SEM和FIB在半导体和新材料领域的最新应用和进展 |
| 11:30-12:00 | 叶上远 | 高德英特北京科技有限公司 中国区执行总监 同时集合了软和硬X射线的商业化光电子能谱在表面分析中的突破和应用 |
| 12:00-13:00 | 午餐 | |
| Session 2 Chair: 苏旭军 纳米所分析测试平台 |
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| 13:00-13:30 | 钟海舰 | 纳米所分析测试平台-SPM方向 高级工程师 SPM技术在宽禁带半导体材料和器件中的应用研究 |
| 13:30-14:00 | 焦汇胜 | TESCAN 技术总监 TESCAN纳米表征及分析技术 |
| 14:00-14:30 | 李正汉 | 胜科纳米研发部 技术总监 先进集成电路制程对于看不见的缺陷的故障分析策略 |
| 14:30-15:00 | 李国梁 | 布鲁克应用 科学家 在SEM中实现sub-5 nm EDS和1 nm分辨率的EBSD分析 |
| 15:00-15:30 | 茶歇 | |
| 15:30-16:00 | 郑树楠 | 纳米所分析测试平台助理研究员 共聚焦拉曼光谱技术、共聚焦荧光显微镜在纳米材料、器件测试方面的应用 |
| 16:00-16:30 | 夏为民 | EDAX Inc，高级应用顾问 高能K线的EDS检测，高空间分辨率EBSD对于半导体金属材料的应用 |
| 16:30-17:00 | 焦龙庵 | 卡尔蔡司（上海）管理有限公司应用专家 3D Xray 显微镜在半导体应用 |
| 17:00-17:30 | 张兮 | 胜科纳米 研发部技术总监 公司战略官 先进封装技术与常见失效分析 |
已邀请嘉宾演讲嘉宾
| 姓名 | 单位/职务 | 专业领域 |
|---|---|---|
| Donal Bradley | 英国牛津大学工学院院长、教授、英国皇家学会院士 | 有机电子科学与技术 |
| 陈章林 | 台湾工研院显示技术中心主任 | 柔性显示技术 |
| 裴启兵 | 美国加州大学洛杉矶分校教授 | 柔性可拉伸电子技术 |
| 杨军 | 加拿大西安大略大学工学院教授 | 印刷增材制造技术在电子与生物科技领域的应用 |
| Xiaoxi He | 英国IDTechEx市场调查公司 | 柔性与印刷电子市场分析 |
拟邀请机构/专家/企业/基金
| 机构 | 专家 | 企业 | 基金 |
|---|---|---|---|
| 上汽集团 | 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室主任 | Bosch Sensortec | 北京清芯华创投资管理有限公司 |
| 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 清华大学微电子研究所教授 | 意法半导体 | 北京盛世投资 |
| 中北大学 | 新加坡南洋理工大学缪建民MEMS研究中心主任 教授 | 恩智浦半导体 | 香港雄牛咨询有限公司 |
| 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 工业和信息化部电子工业标准化研究院 | 罕王微电子（辽宁）有限公司 | 深圳国信蓝思基金管理有限公司 |
| 中国科学院电子学研究所 | 东南大学MEMS教育部重点实验室主任 | 北京埃德万斯离子束技术研究所 | 金浦产业投资基金管理有限公司 |
| 联想（深圳）电子有限公司 | 北京大学微电子学院 | 美新半导体（无锡）有限公司 | 三花控股集团有限公司 |
| 西安电子科技大学 | 国家863计划MEMS专家组 | 歌尔电子有限公司 | |
| 深圳市半导体行业协会 | 湖南湘谭大学MEMS课题组 | 中芯国际集成电路制造有限公司 | |
| 相城经济技术开发区经济贸易发展局 | 哈尔滨工业大学 | 江苏长电科技股份有限公司 | |
| 甘肃省科学院传感技术研究所 | Applied Materials, Inc. | ||
| 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | EVGroup.com | ||
| CETC45 | YoleDéveloppement | ||
| 安徽大学 | 华天科技集团 | ||
| 西北工业大学 | Stella International Corporation Limited | ||
| 山西大学 | Henkel Electronic Materials LLC | ||
| 北京计算机技术及应用研究所 | Amkor Technology | ||
| 上汽集团 | Analog Devices, Inc. | ||
| 南方科技大学 | ABM, Inc. Asia Pacific Ltd. | ||
| 天津大学 | Solmates BV | ||
| 国防科技大学 | ULVAC | ||
| 92537部队 | GEMeasurement& Control | ||
| 桂林电子科技大学 | Veeco | ||
| 江苏大学 | 诺信（中国）有限公司 | ||
| 美的集团 | 上海安费诺永亿通讯电子有限公司 | ||
| 荷兰王国驻沪总领事馆 | 日东（中国）新材料有限公司 | ||
| 联合汽车电子有限公司 | 格罗方德新加坡 | ||
| 华为技术有限公司 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | ||
| 中兴通讯股份有限公司 | 英飞尼迪集团 | ||
| 中科院西安光学精密机械研究所 | 深迪半导体（上海）有限公司 | ||
| 深圳市华为技术有限公司 | 日月光集团 | ||
| 中国工程物理研究院电子工程研究所传感器与执行器研究中心 | 江苏英特神斯科技有限公司 | ||
| SPEA |
参会对象：
新材料、集成电路、半导体、电子元器件、光伏、LED、LCD、OLED、触控显示、航空航天等广泛领域科研院所专家、学者；企业界管理层、质量、研发、生产部门的技术人员及管理人员；
参会联系方式：
本次研讨会设定规模350人，不收注册费。8月30日前报名，享免费午餐与茶歇。报满为止。
参会联系人：钟佳彤 联系方式：18020228898 邮箱地址：conf@chinanosz.com
参会联系人：李晓东 联系方式：18605127087 邮箱地址：Xiaodong@wintech-nano.com
